值得注意！这三个省份最支持UV LED产业！

作为新一代紫外光源，氮化物紫外LED引起各国研究人员和产业界的高度关注，技术创新和应用创新不断取得突破。但一个行业的发展，离不开政策的支持! 据UV LED风向了解，2021年至今，政府对紫外LED的关注程度加大，特别是这三个省份更是明确在规划上。

据了解，深紫外LED专用图形化衬底及芯片制备技术的研究及产业化具体规划主要研究种适用于AlN和高铝组分AlGaN 紫外LED芯片外延生长的纳米图形化蓝宝石衬底，解决UVC半导体外延工艺、提升杀菌效率、改善散热三个问题。

其主要技术目标是如实现图形尺寸均匀分布的纳米级图形化衬底制备，其具体图形尺寸：上（下）孔径为700-1000（100-300）nm，深度为300-650nm，周期1-1.4μm的微结构，均匀性小于3-5%。

二是采用纳米级图形化衬底，实现AlGaN量子阱的发光波长在280 nm以下（发光波长260～280nm），内量子效率大于50%。另外在制备紫外LED芯片结构方面，实现电致发光波长280 nm以下，芯片外量子效率大于3%，输出光功率达10mW以上。"等问题。

福建省在紫外的支持上可谓不留余力，多次发布相关政策支持紫外LED发展，如10月21日的《福建省“十四五”战略性新兴产业发展专项规划》中的第六节节能环保产业中提及支持石墨烯、紫外、深紫外等技术创新方向。积极引进金属有机化合 物化学气相沉积设备（MOCVD）、刻蚀机、光刻机、等离子体增 强化学气相沉积设备（PECVD）、固晶机、光谱分析仪等核心设备研发生产项目以及打造原材料、外延片、芯片、封装、终端应用及核心生产设备全产业链。

此前的《2021年冷链物流新冠病毒消杀科研攻关（第三阶段）定向项目》更是第三次关注紫外消杀在冷链上的运用，项目经费支持从首次的100万到160万，再到1210万，增长了12倍多。

同时福建省厦门市科学技术局发布的《2021年厦门市重大科技项目（工业及信息化领域）申报指南》在集成电路和第三代半导体方向当中，关于新型发光、显示器件及芯片研发及产业化中有一项明确提出关注“深紫外发光材料及器件”。

新装备既是发展新基建、新技术、新材料、新产品、新业态关键基础支撑，也是制造业转型升级、提质增效及融入国内国际双循环新发展格局的重要环节，更是高质量转型发展的支柱产业。

山西省“十四五”新装备规划扶持UV LED发展，在《山西省“十四五”新装备规划》中，将在智能检测设备领域重点突破紫外LED芯片、深紫外LED芯片、MiniLED等核心关键技术，重点研发全波段UV LED系列产品、LED外延产品、紫外应用产品。同时，将加大蓝宝石生长设备及MOCVD设备的研发投入。