铝钪氮（AlScN）——新一代功率器件材料发表时间：2021-09-16 09:02 成员风采-奥趋光电 奧趋光电技术（杭州）有限公司（简称：奥趋光电）是一家全球领先的氮化铝晶体材料解决方案供应商。奥趋光电在SEMICON China 2021举办的“2021年功率与化合物半导体国际论坛”推出了采用自主创新技术开发的具有世界领先水平的高质量蓝宝石基铝钪氮薄膜模板产品。
奧趋光电研发团队开发了一系列独特的专利技术，成功在蓝宝石衬底上生长出高结晶质量的铝钪氮薄膜，钪元素原子浓度高达44 %（EDS检测结果），并且具备低成本和大规模量产等特点。 第三方机构检测结果表明，铝钪氮薄膜（500 nm膜厚）的高分辨X射线（0002）衍射摇摆曲线（Omega扫描）半高宽（FWHM）低至88-90弧秒且峰强高达400,000-500,000 cps（如图2a所示），（10-12）非对称衍射摇摆曲线半高宽为300-350弧秒。原子力显微镜（AFM）检测薄膜表面的粗糙度（Ra）为4-5nm，且整体均匀性高。
奥趋光电创始人兼CEO吴亮博士表示：“世界各地的许多科学家花费了大量的精力开展高质量铝钪氮薄膜材料的开发，但是在我们之前没有机构/团队能够制备出如此高质量且高钪含量的铝钪氮薄膜。这毋庸置疑对各类下游应用，如高性能5G FBAR/BAW/SAW滤波器和功率器件等，是非常振奋人心的消息。我们目前正在与中国几家技术领先的下游企业进行合作，计划逐步实现高性能的5G FBAR/BAW/SAW滤波器制造，以满足日益严苛的工业需求。” |
